Slėgio kontrolės principas vakuuminio dangos įrangos principas

1. Fono įvadas
Vakuuminės dengimo įranga yra savotiška įranga, plačiai naudojama pramoninėje gamyboje. Pagrindinė jo funkcija yra įdėti medžiagą, kurią reikia padėti į vakuuminės dangos kamerą, o per reakciją aukštoje temperatūroje ir aukštoje vakuuminėje aplinkoje plėvelės sluoksnis tolygiai nusėda ant medžiagos paviršiaus. , ir suformuokite tam tikrą dangos sluoksnį su specialiomis funkcijomis ir charakteristikomis. Tarp jų, vakuumo laipsnis ir sukibimo greitis įrangoje yra svarbūs rodikliai, turintys įtakos dangos sluoksnio kokybei, o vakuuminio laipsnio stabilumas priklauso nuo įrangos slėgio valdymo.
2. Slėgio valdymo vakuuminės dangos įrangos principas
1. Vakuuminio laipsnio apibrėžimas
Prieš įvedant slėgio kontrolės principą, būtina įvesti, kas yra vakuumas. Fizikoje vakuume nurodoma dujų aplinka, kurios slėgis yra mažesnis nei atmosferos slėgis, todėl vakuuminis laipsnis nurodo dujų slėgį tam tikroje erdvėje. Apskritai vakuumas paprastai matuojamas Pascals (PA) arba metrų juostoje (MBAR). Dokuuminės dengimo įrangoje įprastas vakuumo asortimentas yra 10^-6PA ~ 10^-2PA.
2. Slėgio kontrolės principas
Kai vakuumas yra per didelis arba per žemas, tai paveiks įprastą įrangos veikimą. Todėl tam tikru metodu būtina kontroliuoti įrangos vakuumo lygį. Tarp jų slėgio valdymas yra gana paprastas ir efektyvus valdymo metodas. Tiksliau, slėgio valdymo principas yra naudoti slėgio valdiklį, kad būtų galima valdyti įrangos dujų srautą, nustatant kontroliuojamo galo slėgį, o po to per grįžtamojo ryšio mechanizmą, kontroliuojant vožtuvo angą, kad būtų pasiektas slėgio kontrolės tikslas.
3. Pagrindinė slėgio valdiklio sudėtis
Slėgiui valdyti paprastai naudojamas slėgio valdiklis vakuuminės dengimo įrangoje. Pagrindinė jo sudėtis apima keturias dalis: aptikimo jutiklis, valdiklis, pavara ir valdymo sistema.
Aptikimo jutiklis: jis daugiausia naudojamas aptikti kontroliuojamo galo slėgio pokytį ir paversti jį atitinkamu elektrinio signalo išvestimi, kurį naudoti valdikliui.
Valdiklis: Jis daugiausia priima elektros signalo išvestį per jutiklį, jį apdoroja ir analizuoja, o tada pateikia analizės rezultatą atgal į pavarą, kad būtų galima valdyti pavaros atidarymo laipsnį.
Pavara: ji daugiausia kontroliuoja dujų srautą įrangoje, kontroliuodama vožtuvo atidarymo laipsnį, kad būtų pasiektas slėgio valdymo tikslas.
Valdymo sistema: ji daugiausia naudojama stebėti ir valdyti įvairius įrangos rodiklius, tokius kaip temperatūra, vakuumo laipsnis ir kt., Ir sudaryti valdymo strategijų seriją.
3. Santrauka
Apibendrinant galima pasakyti, kad slėgio valdymo vakuuminiame dengimo įrangoje principas yra valdyti įrangos slėgį per palyginti paprastą ir efektyvų grįžtamojo ryšio mechanizmą. Norint sukurti tokią stabilią valdymo sistemą, reikia techninės įvairių įrangos valdymo sistemos aspektų, tokių kaip parametrų stebėjimas, valdymo algoritmas, pavaros valdymas, sistemos jungtis ir tt, palaikymas. Šie techniniai veiksniai reikalauja tam tikro profesionalaus ir techninio personalo bendradarbiavimo, kad būtų užtikrinta, jog įranga gali parodyti puikų našumą.