Supraskite, kaip realizuojamas vakuuminio padengimo procesas

Vakuuminė dangayra procesas, naudojamas gaminti aukštos kokybės plonų filmų medžiagas. Jis sukuria plonas plėveles, šilumai išgaruodamas ar dulkindamas organines ar neorganines medžiagas ant substrato paviršiaus vakuuminėmis sąlygomis. Šiame straipsnyje išsamiai pristatys vakuuminės dangos diegimą.

Į vakuuminio dengimo procesą įeina šie veiksmai:

1. Pasirinkite tinkamą substratą ir medžiagą

Pirmasis vakuuminės dangos žingsnis yra tinkamo substrato ir medžiagos pasirinkimas. Substratas gali būti stiklas, plastikas, metalas ar kitos nanomedžiagos. Medžiagos gali būti organinės arba neorganinės, tokios kaip metalai, puslaidininkiai, oksidai ar nitridai.

2. Įkelkite vakuuminės dangos sistemą

Antrasis žingsnis yra įkelti substratą ir medžiagas į vakuuminės dangos sistemą. Į vakuuminę dangos sistemą sudaro vakuuminė kamera, metalo garintuvas, purškimas ir valdymo sistema. Vakuuminės kamera yra uždara erdvė, naudojama palaikyti vakuuminę aplinką, metalo garintuvai ir raukšlės yra prietaisai, naudojami medžiagoms išgaruoti ar dulkinti ant substratų, o valdymo sistema naudojama vakuuminės aplinkos ir medžiagų garinimo ar dulkinimo greičiui stebėti ir sureguliuoti.

3. Vokuumas

Įkėlus medžiagą ir substratą, vakuuminė kamera turėtų būti evakuota. Vakuumavimas yra labai svarbus žingsnis, nes mažo slėgio ir aukšto grynumo aplinkos palaikymas gali garantuoti membranos kokybę. Vakuuminė aplinka paprastai yra mažesnė nei 10^-6 MBAR, kad būtų pašalintos dujų molekulės ir kiti teršalai.

4. Medžiagos išgarinimas ar dulkinimas

Kai vakuuminė aplinka pasiekia norimą slėgį, medžiagą galima išgaruoti arba dulkinti ant substrato. Yra du medžiagų išgarinimo būdai: šiluminis išgarinimas ir elektronų pluošto išgarinimas. Dulkinimasis taip pat turi du metodus: magnetrono dulkinimas ir lanko dulkinimas. Nepriklausomai nuo to, kuris metodas naudojamas, reikia valdyti medžiagos išgarinimą ar dulkinimo greitį ir plėvelės storis.

5. Padarykite daugiasluoksnį filmą

Kai bus pagaminta vieno sluoksnio membrana, keli sluoksniai gali būti sukrauti kartu, kad susidarytų kompozitas. Gali būti naudojamos skirtingos medžiagos ir nusėdimo procesai, tokie kaip kintamasis nusėdimas, daugiapakopis medžiagų bendras nusėdimas ir zonuotas nusėdimas.

6. Bandymo membranos kokybė

Paskutinis žingsnis yra patikrinti membranos kokybę. Testai, be kita ko, gali apimti storis, fizinės savybės, optinės savybės ir elektrinės savybės. Nustatykite, ar membranos medžiaga atitinka reikalavimus pagal bandymo rezultatus.

Trumpai tariant, vakuuminės dangos technologija yra metodas aukštos kokybės plonoms plėvelėms pasiekti. Jis turi pasirinkti tinkamą substratą ir medžiagą, įkelti vakuuminės dangos sistemą, vakuumizuoti, medžiagą išgaruoti ar dulkėti, padaryti daugiasluoksnę plėvelę ir išbandyti plėvelės kokybę. Vakuuminės dangos technologija buvo plačiai naudojama elektronikos, optikos, medicinos ir energetikos srityse.